当社の工場からICPエッチングキャリアを安心してご購入いただけます。最高のアフターサービスとタイムリーな納品を提供します。 Semicorex ウェハサセプタは、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用して炭化ケイ素でコーティングされたグラファイトで作られています。この材料は、高温耐性、耐薬品性、優れた耐摩耗性、高い熱伝導率、高い強度と剛性などのユニークな特性を備えています。これらの特性により、誘導結合プラズマ (ICP) エッチング システムなどのさまざまな高温用途にとって魅力的な材料となっています。
当社はカスタマイズされたサービスを提供し、寿命の長いコンポーネントの革新、サイクルタイムの短縮、歩留まりの向上を支援します。
Semicorex の誘導結合プラズマ (ICP) 用炭化ケイ素でコーティングされたサセプタは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセス用に特別に設計されています。当社のキャリアは、最大 1600°C の安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチング ウェーハ ホルダーは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセスに最適なソリューションです。当社のキャリアは、最大 1600°C までの安定した高温酸化耐性を備えており、均一な熱プロファイル、層流ガス フロー パターンを保証し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチング キャリア プレートは、要求の厳しいウェーハの取り扱いや薄膜堆積プロセスに最適なソリューションです。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および層流のガス流パターンを提供します。清潔で滑らかな表面を備えた当社のキャリアは、新品のウェーハを扱うのに最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP エッチングプロセス用ウェーハホルダーは、要求の厳しいウェーハハンドリングや薄膜堆積プロセスに最適です。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および一貫した信頼性の高い結果をもたらす最適な層流ガス フロー パターンを誇ります。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP シリコン カーボン コーティング グラファイトは、要求の厳しいウェーハの取り扱いや薄膜堆積プロセスに理想的な選択肢です。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、最適な層流パターンを誇ります。
続きを読むお問い合わせを送信高品質のエピタキシーおよび MOCVD プロセスには、PSS プロセス用の Semicorex の ICP プラズマ エッチング システムをお選びください。当社の製品はこれらのプロセス向けに特別に設計されており、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。清潔で滑らかな表面を備えた当社のキャリアは、新品のウェーハを扱うのに最適です。
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