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プラズマエッチングチャンバー用の高温SiCコーティング
エピタキシーや MOCVD などのウェーハ ハンドリング プロセスに関しては、Semicorex のプラズマ エッチング チャンバー用高温 SiC コーティングが第一の選択肢です。当社のキャリアは、微細な SiC 結晶コーティングにより、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。
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製品説明
Semicorex では、高品質のウェーハ処理装置の重要性を理解しています。そのため、当社のプラズマ エッチング チャンバー用の高温 SiC コーティングは、高温で過酷な化学洗浄環境向けに特別に設計されています。当社のキャリアは、均一な熱プロファイル、層流ガス流パターンを提供し、汚染や不純物の拡散を防ぎます。
プラズマ エッチング チャンバー用の高温 SiC コーティングの詳細については、今すぐお問い合わせください。
プラズマエッチングチャンバー用の高温 SiC コーティングのパラメーター
|
CVD-SICコーティングの主な仕様 |
||
|
SiC-CVDの特性 |
||
|
結晶構造 |
FCC βフェーズ |
|
|
密度 |
g/cm3 |
3.21 |
|
硬度 |
ビッカース硬さ |
2500 |
|
粒度 |
μm |
2~10 |
|
化学純度 |
% |
99.99995 |
|
熱容量 |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
昇華温度 |
℃ |
2700 |
|
感覚の強さ |
MPa(室温4点) |
415 |
|
ヤング率 |
Gpa (4pt曲げ、1300℃) |
430 |
|
熱膨張 (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
熱伝導率 |
(W/mK) |
300 |
プラズマエッチングチャンバー用高温SiCコーティングの特長
- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。
ホットタグ: プラズマ エッチング チャンバー用高温 SiC コーティング、中国、メーカー、サプライヤー、工場、カスタマイズされた、バルク、高度な、耐久性
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