ICPプラズマエッチング装置

Semicorex の ICP プラズマ エッチング システム用 SiC コーティング キャリアを使用して、最高品質のエピタキシーおよび MOCVD プロセスを実現します。当社の製品はこれらのプロセス向けに特別に設計されており、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。当社の微細な SiC 結晶コーティングは、きれいで滑らかな表面を提供し、ウェーハの最適な取り扱いを可能にします。
ICP プラズマ エッチング システム用の SiC コーティング キャリアの詳細については、今すぐお問い合わせください。

ICPプラズマエッチングシステム用SiCコートキャリアのパラメータ

ICPプラズマエッチング装置用SiCコートキャリアの特長

- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。

高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定

高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。

耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。

耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。

- 最適な層流ガス流パターンを実現

- 熱プロファイルの均一性を保証

- 汚染や不純物の拡散を防止します。