PSS (パターン化サファイア基板) エッチング キャリアは、LED デバイスの製造に使用されます。 PSS エッチング キャリアは、LED 構造を形成する窒化ガリウム (GaN) の薄膜を成長させるための基板として機能し、その後エッチング プロセスを経ます。そのため、耐熱性や耐食性の高い材料が求められます。 Semicorex SiC コーティングされた PSS エッチング キャリアは、これらの要求の厳しいエピタキシー装置用途向けに特別に設計されています。キャリアはCVD法によりコーティングされた炭化ケイ素であり、熱伝導率も高く、熱分布特性にも優れています。
エピキシャル成長やウェーハハンドリング処理で使用されるウェーハキャリアは、高温や過酷な化学洗浄に耐える必要があります。 Semicorex SiC コーティング PSS エッチング キャリアは、これらの要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに特別に設計されています。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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