炭化ケイ素ピンチャック

Semicorex の優れた製品品質は、高品質の材料選択と製造プロセスによってもたらされます。 Semicorex 炭化ケイ素ピンチャック高純度のスプレー造粒SiC粉末から作られ、静水圧プレスと高温焼結で処理されているため、高精度および高規格の半導体アプリケーションに最適です。

Semicorex 炭化ケイ素ピンチャックの利点

1.高精度配列ピン設計

セミコレックスの表面炭化ケイ素ピンチャックにはミクロンサイズのバンプが多数配列されています。ウェーハ裏面との接触はバンプでのみ発生するため、接触面積が最小限に抑えられ、ウェーハの不必要な傷、粒子汚染、マーキングが効果的に回避されます。

2.超精密表面処理

セミコレックスの炭化ケイ素ピンチャックは精密な機械加工と研削加工が施されています。表面上のピンの高さ、直径、間隔は厳密に管理されています。 0.3 ～ 0.5 μm のチャック平坦度を達成できるため、最適なウエハの平坦性が保証され、不均一な荷重に起因するウエハの歪みや破損が大幅に排除されます。

3.メンテナンスコストの最適化

Semicorex 炭化ケイ素ピン チャックは、並外れた硬度、優れた耐摩耗性、優れた耐熱性、信頼性の高い耐化学腐食性など、いくつかの優れた特性を備えています。そのため、頻繁な摩耗、高温、深刻な腐食などの厳しい動作環境でも安定して動作することができ、メンテナンス頻度が大幅に削減され、使用効率が向上し、全体的なコストが根本的に削減されます。

4.効率的な生産効率

セミコレックスは、高度な加工機器と設備を完備し、炭化ケイ素ピンチャックの製造において広範な専門知識と確かな技術力を備えています。 Semicorex は、輸入された炭化ケイ素チャックの認定された国内代替品を供給できます。海外輸入品と比較して、セミコレックスは納期に顕著な優位性があり、リードタイムを6～8週間短縮することができ、お客様のプロジェクト効率の向上と待機コストの削減に効果的に貢献します。

Semicorex 炭化ケイ素ピン チャックは、その優れた性能を活かして、自動化されたウェーハ製造ラインで広く使用され、ウェーハを正確かつ確実に吸着および固定することで、半導体デバイスの性能と生産効率を大幅に向上させることができます。