SIC ARM

Semicorex SIC ARMは、最大の信頼性と精度でウェーハを処理するために開発された特殊なデバイスです。 SICアームと同様に、ウェーハトランスファーアームは、エピタキシャルリアクター、イオン移植システム、熱加工などの高度な半導体製造装置に表示されます。ウェーハ転送群は、処理されているウェーハの安全かつ正確な転送を確保するために、複雑なウェーハハンドリング環境内のウェーハの正確な動きに不可欠です。高純度を使用して構築されています炭化シリコンの原料特性と組み合わせる 

例外的な熱および化学的安定性、および優れた加工制御により、SIC ARMは将来の半導体製造のための信頼できるソリューションになります。

SIC ARMは、極端な熱環境で例外的な性能を持っています。エピタキシャルの成長と他の高温プロセスでは、ウェーハの取り扱いコンポーネントは、従来の材料の特性を容易に悪化させる持続的な熱にさらされる可能性があります。炭化シリコンは、高温で強度と寸法の精度（有限寸法許容範囲）の両方を保持します。これにより、転送または処理中にウェーハが正確に座ったままになり、ウェーハの不整列、縦乱、汚染を実質的に排除できます。 SIC製品の例外的なパフォーマンスを備えたセラミック。 SICの腕は酸化せず、金属のように歪んでいない、またストレス亀裂であるセラミックのような故障性能特性もありません。

化学耐性は、SICアームのもう1つの決定的な特性です。半導体環境では、腐食性ガス、反応性化学物質、および血漿曝露が一般的です。このような条件下で悪化するハンドリングアームは、機械的障害だけでなく、ウェーハの汚染にもリスクがあります。炭化シリコンこれらの積極的な条件に耐える化学的に不活性な表面を提供します。その結果、表面の完全性と清潔さを維持する非常に信頼性の高いコンポーネントが得られ、デバイスのパフォーマンスを損なう可能性のある不純物からウェーハを保護します。この耐久性により、機器のダウンタイムが大幅に短縮され、交換頻度が低下し、プロセスの一貫性が向上します。

物質的な回復力を超えて、SIC ARMは高度な加工精度も満たしています。ウェーハの取り扱いには、マイクロメーターの精度が必要です。仕様がわずかに外れていることさえある許容範囲は、ジオメトリまたは表面仕上げの変化を引き起こす可能性があり、ウェーハの破損やウェーハの不整合のリスクが高くなる可能性があります。最新の製造技術を使用することにより、SICアームは適切な耐性、平坦性、滑らかな表面で生産されます。高精度アプリケーションであることは、数千の取り扱いサイクル中にウェーハの一貫したポジショニングと再現性のあるパフォーマンスを保証するのに理想的です。

汎用性は、SIC Armsのもう1つの利点です。さまざまな半導体ツールとプロセスには、異なる幾何学、サイズ、デザインのアームが必要です。 SICアームは、これらの特定の設計特性を組み込むために変更できるため、エピタキシーツール、イオン着床機器、または熱加工反応器など、広範囲のシステムに簡単に適合できます。表面仕上げ、構造設計、仕上げも変更および設計することができ、特定のアプリケーションに関して最高のパフォーマンスを提供します。

SIC Armsには運用効率もあります。 SICの高い耐久性と信頼性の平均置換はまれであり、ダウンタイムが最小限に抑えられています。どちらも、長期的なメンテナンスコストが低いことを意味します。生産半導体ファブの場合、これはより良いスループット、生産の安定性の向上、およびより高いデバイスの収率を実現することを意味します。

SIC Armsは、特に機械的応力と非常に厳密な処理条件の両方に耐えなければならないウェーハ移動システムで特に半導体コミュニティで導入されて以来、広範な使用を見てきました。ウェーファーをエピタキシー反応器に移動したり、イオン着床中に所定の位置に保持したり、ガスまたは熱加工環境を介したりしても、SICアームは安全で正確で汚染されたウェーハの取り扱いを提供します。最新の半導体機器ポートフォリオにSICアームを導入することにより、信頼性が明らかです。

Semicorex SIC ARMは、高度な望ましい特性の組み合わせです炭化シリコン材料、精密工学と高温安定性。化学物質の安定性、機械加工される能力、精密な製造の組み合わせにより、SICアームは、最も厳しい半導体プロセスで信頼できるウェーハ処理を提供するのに適しています。 SICアームは、効率、収量、およびプロセスの安定性に関して、長期的な運用パフォーマンスを支援し、利益を提供するためのエンドユーザーの消耗品の利点のためにカスタマイズ可能で耐久性があります。近代的で最先端のウェーハハンドリングシステムを探しているメーカー、またはボックス外のウェーハの取り扱いソリューションを探しているメーカーは、半導体業界の高度な需要のための実証済みの高性能で有能なウェーハ転送およびハンドリングシステムを目指して依存しています。