多孔質アルミナチャック

Semicorexの多孔質アルミナチャックは、最も繊細なウェーハ用に専用です。それらの多孔質設計は、チャック表面全体に一貫した真空分布の保証を提供し、局所的なストレスの減少を保証し、エッジの欠けや破損を防ぐのに役立ちます。機械式クランプ（固体またはその他）は、微孔構造が摩耗を防ぎ、穏やかなホールドを提供するため、ウェーハを安全に固定しながら、過度の機械的応力を制限することなく繊細なウェーハさえ保持する微小性ネットワークほど効果的ではありません。チャック表面全体にわたる均一な吸着の必要性は、自動処理中や高精度の処理ステップの実行中にはるかに少ないストレスに耐えることができる大きくて薄いウェーハにとって特に重要です。

35〜40％の多孔性で最適化されたチャックは、空気を避難させるのに役立つ相互接続ポアのネットワークを開発しながら、プロセス力に対してウェーハを所定の位置に保持するのに十分な機械的強度を提供します。これは、複雑なプロセスシーケンスを実行しながら、急速に連続してウェーハを動かしながら、真空保持力が安定したままであることを意味します。マイクロポーラスネットワーク内の吸着は、真空システム内の圧力の違いを単に作成するよりも、より安定性を提供します。

黒いアルミナ（al₂o₃）自体は、硬く、耐摩耗性があり、化学的に不活性であるため、究極の素材です。かなりの表面を劣化させず、ウェーハの繰り返しサイクル（配置/真空吸着/冷却）で影響を受けません。黒アルミナしたがって、寸法的に安定しているため、プロセス（加熱と冷却）または環境で自然に発生する温度変化にもかかわらず、変化しません。

化学耐性は、ブラックアルミナのもう1つの重要な利点です。チャックは、その構造的完全性を損なうことなく、積極的なクリーニング、プラズマ、エッチング環境で動作できます。その不活性は、ウェーハ表面の汚染を防ぎ、高いプロセスの純度とクリーンルームの基準への順守を確保します。

微孔構造は、薄くて脆いウェーハに対するストレス集中を緩和する支持面を提供します。正確な表面の平坦性と滑らかな表面仕上げと並行して、多孔質アルミナチャックスは、手のウェーハの完全性を損なう可能性のあるマイクロクラックと傷の発生を最小限に抑えます。

アルミナセラミック優れた硬度、高い機械的強度、低熱膨張係数、優れた熱安定性があり、精密半導体アプリケーションの実用的な材料となります。また、その化学的不活性は、酸、アルカリ、および血漿に耐えることができることを意味しますが、耐摩耗性は耐久性を保証しますが、これらの利点により、アルミナは微孔性真空チャックに最適な材料になり、パフォーマンスの信頼性と予測可能性の両方を提供します。

結論として、多孔質アルミナチャックは、均一で生存可能なウェーハの取り扱いを供給するように設計されています。その微孔性黒アルミナ構造は、機械的ストレスとウェーハ損傷の減少を最小限に抑えながら、真空吸着（均一性）さえも提供します。チャックとして、実質的かつ最適な多孔性と優れた熱、機械、および化学的特性は、過酷な製造条件における動作のウェーハの安全性、価値、および信頼性を最適化するのに役立ちます。多孔質アルミナチャックがメーカーに提供できる堅牢で均一で安全な取り扱いの優れた組み合わせは、単に珍しくユニークです。