パンケーキサセプタは、半導体プロセスで使用される円形のウエハキャリアです。
エピタキシーは、半導体ウェーハ上にエピタキシャル層を成長させる半導体プロセスの重要なステップであり、ウェーハはグラファイトサセプタ上に置かれます。グラファイトサセプターの品質は、エピウェーハの品質に大きく影響します。
炭化ケイ素コーティングを施したグラファイトサセプター
Semicorex は、以下を含むすべてのエピタキシー リアクター用のサセプターとコンポーネントを供給しています。バレルサセプターそしてパンケーキサセプター。高純度グラファイトとCVD SiCコーティングを使用しています。
Semicorex は、高品質の CVD SiC コーティングされたグラファイト パンケーキ サセプタを提供します。当社は長年にわたり黒鉛材料の製造および供給を行ってきました。当社の CVD SiC コーティングされたグラファイト パンケーキ サセプタは価格面で優れており、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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