CVD SiC コーティングされたグラファイトパンケーキサセプター

Semicorex は、高品質の CVD SiC コーティングされたグラファイトパンケーキサセプタを提供します。当社は長年にわたり黒鉛材料の製造および供給を行ってきました。当社の CVD SiC コーティングされたグラファイトパンケーキサセプタは価格面で優れており、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex CVD SiC (化学蒸着シリコンカーバイド) コーティングされたグラファイトパンケーキサセプターは、前述のグラファイトパンケーキサセプターの先進バージョンです。これには、CVD プロセスを使用してグラファイトサセプターの表面に適用された SiC コーティングの薄層が組み込まれています。

CVD SiC コーティングされたグラファイトパンケーキサセプタは、ウェハエピタキシャル、ICP エッチング、RTP プロセスなどの半導体プロセスで広く使用されています。