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ウェーハエピタキシャルプロセス用パンケーキサセプタ
Semicorex ウェハエピタキシャルプロセス用パンケーキサセプタは、高純度グラファイトベースに CVD SiC コーティングを施したものです。当社のウェーハエピタキシャルプロセス用パンケーキサセプタは価格面で優れており、ヨーロッパとアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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製品説明
ウェハエピタキシーは、半導体基板上に高品質の結晶膜を成長させるために使用される技術です。これには、基板をリアクター チャンバー内に配置し、制御された環境に基板をさらして、目的の材料を層ごとに堆積することが含まれます。
ウェハエピタキシャルプロセス用のパンケーキサセプタは、円形のグラファイトサセプタであり、化学気相成長（CVD）や物理気相成長（PVD）などのさまざまな半導体プロセスで温度均一性を高め、膜成長を促進するために使用されます。
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