半月コンポーネント

Semicorex ハーフムーン コンポーネントは、半円筒形またはセグメント化された内部リアクター構造で、通常はエピタキシャル リアクター内に設置されます。その独自の形状は、エピタキシャル成長プロセス中のガス分布、熱管理、ウェーハの位置決め、およびチャンバー保護の最適化に役立ちます。

示されている製品は、LPE スタイルのチャンバー構成に適合するように特別に設計された、統合された内部サポート形状を備えた精密機械加工された円筒構造を特徴としています。これらのコンポーネントは通常、高純度グラファイトから製造されており、高度な CVD 炭化ケイ素 (SiC) コーティングで保護することで、耐久性、純度、耐薬品性を向上させることができます。

エピタキシャルリアクタでは、コンポーネントの安定性と清浄度が膜の均一性、結晶品質、ウェーハの歩留まりに直接影響します。したがって、原子炉の内部構造は、変形や汚染なしに、攻撃的な化学環境、急速な熱サイクル、および長時間の高温運転に耐える必要があります。

LPE スタイルのチャンバーと互換性のあるリアクター部品

Semicorex は、LPE エピタキシャル システムと互換性のある次のようないくつかのリアクター部品を製造しています。

※半月パーツ

* 保護カバー

・フローガイド部品

・ウエハサポート部品

* シールドリング

* カスタムグラファイトアセンブリ

すべてのコンポーネントは、リアクターの寸法、プロセス条件、および顧客固有の設計要件に従ってカスタマイズできます。

ハーフムーンコンポーネントの主な特徴

高純度黒鉛基材

リアクターのコンポーネントは高密度、高純度の材料を使用して製造されています。静水圧グラファイト材料半導体用途向けに特に選択されています。不純物含有量が低いため、エピタキシャル成長プロセス中の汚染リスクを最小限に抑えることができます。

高純度の材料は以下を維持するために不可欠です。

* 安定した結晶成長

* 均一なエピタキシャル層

* 低い欠陥密度

* 半導体グレードの清浄度

高度な SiC コーティング保護

要求の厳しいプロセス環境では、グラファイト基板を緻密なコーティングでコーティングできます。CVD炭化ケイ素。 SiC コーティングは、優れた密着性と化学的安定性を備えた高度な保護表面層を形成します。

SiC コーティングは以下を提供します。

* 優れた耐食性

* パーティクル発生の低減

* 耐摩耗性の向上

*耐酸化性の向上

* より長い耐用年数

このコーティングは、プロセスガスや強力な洗浄剤からグラファイト基板を保護します。

優れた熱安定性

ハーフムーンコンポーネントは、熱の安定性が重要な高温エピタキシャルリアクタ内で動作します。グラファイトおよび SiC 材料は優れた熱伝導率と熱衝撃耐性を備え、急速加熱および冷却サイクル中に安定したチャンバー状態を維持するのに役立ちます。

優れた熱性能は次のことに貢献します。

* 均一な温度分布

* 熱応力の軽減

*安定したプロセス再現性

* エピタキシャル層の一貫性の向上

精密加工能力

Semicorex は、高度な CNC 機械加工と精密製造技術を利用して、厳しい寸法公差と複雑な内部構造を実現しています。

正確な機械加工により、次のことが保証されます。

* 適切な反応器の取り付け

* 安定したガス流量制御

* 信頼性の高いウェーハ位置決め

* 一貫したチャンバー性能

特定の反応器設計に従って、複雑なカスタマイズされた形状も製造できます。

強い耐薬品性

エピタキシャルプロセスには、多くの場合、腐食性ガスや過酷な動作条件が伴います。 SiC でコーティングされたリアクトル部品は、以下に対して優れた耐性を示します。

* 水素

※塩素含有ガス

* 酸性洗浄剤

※高温酸化

この化学的耐久性により、コンポーネントの寿命が大幅に延長され、メンテナンスの頻度が減少します。

エピタキシャル成長システムへの応用

ハーフムーンコンポーネントは、以下を含む半導体製造用途の高度なエピタキシャル処理装置で広く使用されています。

※シリコンエピタキシー

※SiCエピタキシャル成長

* GaNエピタキシー

※パワー半導体製造

※LEDの製造

* 高度なウェーハ処理

* 高温CVD装置

リアクター チャンバー内では、これらのコンポーネントはガスの流れのダイナミクスを最適化し、プロセスの均一性を維持し、重要なチャンバー領域を熱的および化学的損傷から保護するのに役立ちます。

セミコレックスを選ぶ理由

Semicorex は、半導体および高温産業用途向けの高度なグラファイトおよび炭化ケイ素ソリューションに焦点を当てています。エピタキシャル リアクタ コンポーネントに関する豊富な経験を活かし、当社は長期信頼性と半導体グレードの性能を実現するように設計された精密設計製品を提供しています。

当社の利点は次のとおりです。

* 高純度の原料

* 高度なSiCコーティング技術

* 精密加工能力

* カスタムエンジニアリングサポート

*厳格な品質管理

※グローバルな供給力

Semicorex は、高度な材料専門知識とカスタマイズされた製造ソリューションを組み合わせることで、世界中の顧客が次世代半導体技術の安定的かつ効率的なエピタキシャル成長プロセスを達成できるようサポートします。