1x2 インチ グラファイト ウェーハ サセプタ

半導体ウェーハの製造では、その後の半導体デバイスの製造のためにウェーハ基板上にエピタキシャル層を成長させる必要がある。エピタキシャル成長プロセスは温度変動や汚染の影響を非常に受けやすいため、信頼性の高いウェハサセプタは非常に重要です。ウェーハエピタキシャルプロセスに不可欠なサポート部品として、高品質なウェーハエピタキシャル成長を実現するためには、加工精度、熱管理能力、耐汚染性能が重要な要素となります。

Semicorex 1x2 インチ グラファイト ウェハ サセプタの機能

Semicorex 1x2 インチ グラファイト ウェハ サセプタは、マトリックスとして超微粒子高純度グラファイトを使用し、特別なプロセスにより緻密な炭化ケイ素コーティングを施して作られており、次の機能を提供します。

1.安全で古い保持

セミコレックス 1x2"黒鉛ウェハサセプタは精密な機械加工と処理を特徴としており、優れた表面平坦性と寸法精度を実現します。これにより、ウェーハが適切な位置にしっかりと固定され、ウェーハのエピタキシャル成長に安定した平らな支持プラットフォームが提供されます。

2.精密で均一な熱分布

Semicorex 1x2 インチ グラファイト ウェハ サセプタは、グラファイトおよび SiC 材料の優れた熱伝導率により、半導体物質全体に迅速かつ均一な熱分布を提供します。温度勾配を最小限に抑えることで、Semicorex 1x2 インチ グラファイト ウェハ サセプタは、不均一なエピタキシャル品質や応力集中などの問題を効果的に回避できます。

Semicorex 炭化ケイ素コーティングの利点

1.優れた耐食性

Semicorex 1x2 インチ グラファイト ウェハ サセプタは、緻密な炭化ケイ素コーティングで覆われており、ほとんどの化学薬品に対して効果的に耐性があるため、材料が腐食性ガスや化学蒸気に頻繁にさらされる腐食性の高い動作条件での用途に適しています。

2.粒子脱落が少ない

セミコレックス炭化ケイ素コーティンググラファイトマトリックスとの高い結合強度を備えており、腐食によるコーティング剥離や高腐食環境による粒子の落下による基板汚染のリスクを大幅に回避できます。

3.安心の寿命

グラファイトマトリックスは優れた熱安定性と機械的強度を示しますが、エピタキシャルプロセスの操作条件下では腐食や粉砕が起こりやすく、コーティングされていないグラファイトマトリックスの寿命が大幅に短くなります。グラファイトマトリックスを緻密なSiCコーティングで完全にカプセル化することにより、当社の1×2インチグラファイトウェハサセプタは、優れた信頼性の高い耐久性を実現します。

セミコレックスSiCコーティングの材料データ