Semicorex 超硬コーティングされたリアクター バレル サセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質のグラファイト製品で、LPE プロセス用に特別に設計されています。耐熱性、耐食性に優れており、半導体製造用途に最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex のエピタキシャル リアクター チャンバー用 SiC コーティング サセプター バレルは、優れた熱分布と熱伝導特性を備え、半導体製造プロセス向けの信頼性の高いソリューションです。また、腐食、酸化、高温に対する耐性も優れています。
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