カーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプター

半導体ウェーハ上でのエピタキシャル層形成用の高性能グラファイトサセプタをお探しの場合、Semicorex カーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプタが最適な選択肢です。炭化ケイ素コーティングは優れた熱分布と熱伝導性を提供し、最も要求の厳しい高温環境でも優れたパフォーマンスを保証します。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高いカーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプターの提供に注力しており、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供しています。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

カーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプターのパラメータ

超硬コーティング反応炉バレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。