Semicorex SiC コーティング EPI 3 1/4 インチ バレル サセプタは、優れた熱安定性と化学的攻撃に対する耐性を提供し、グラファイト基板は優れた熱伝達特性を提供します。
Semicorex EPI 3 1/4 インチ バレル サセプタは、高純度 SiC でコーティングされた高品質グラファイト製品で、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。半導体製造業界における LPE 用途向けに特別に設計されています。
当社の EPI 3 1/4 インチ バレル サセプタは、航空宇宙、自動車、エレクトロニクスなどのさまざまな業界で使用できるように設計されています。当社は、競争力のある価格で高品質の製品を提供することに尽力し、長期的なサセプタの構築に専念しています。当社のお客様との関係について詳しく知りたい方は、今すぐお問い合わせください。SiCコーティンググラファイトるつぼとそれがビジネスにどのようなメリットをもたらすかについて説明します。
EPI 3 1/4 インチバレルサセプタのパラメータ
主な仕様CVD-SICコーティング |
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SiC-CVDの特性 |
||
結晶構造 |
FCC βフェーズ |
|
密度 |
g/cm3 |
3.21 |
硬度 |
ビッカース硬さ |
2500 |
粒度 |
μm |
2~10 |
化学純度 |
% |
99.99995 |
熱容量 |
J kg-1 K-1 |
640 |
昇華温度 |
℃ |
2700 |
感覚の強さ |
MPa(室温4点) |
415 |
ヤング率 |
Gpa (4pt曲げ、1300℃) |
430 |
熱膨張 (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
熱伝導率 |
(W/mK) |
300 |
EPI 3 1/4" バレルレシーバーの特徴
SiCコーティング優れた熱安定性と化学的攻撃に対する耐性を提供します
グラファイト基板は優れた熱伝導特性を提供します
高密度かつ高硬度
高い化学純度
高い熱容量
高い昇華温度
高い曲げ強度
高いヤング率
低い熱膨張係数
高い熱伝導率