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炭化ケイ素コーティングされたバレルサセプタ

炭化ケイ素コーティングされたバレルサセプタ

Semicorex 炭化ケイ素コーティングバレルサセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質グラファイト製品で、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。半導体製造業界における LPE アプリケーション向けに特別に設計されています。

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製品説明

私たちの炭化ケイ素コーティングされたバレルサセプタSemicorex の製品は、高温で腐食性の環境で単結晶を成長させるための理想的なソリューションです。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品を提供することに重点を置いています。炭化ケイ素コーティングバレルサセプターに関しては、当社は顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。


のパラメータ炭化ケイ素コーティングバレルレシーバー

主な仕様CVD-SICコーティング

SiC-CVDの特性

結晶構造

FCC βフェーズ

密度

g/cm3

3.21

硬度

ビッカース硬さ

2500

粒度

μm

2~10

化学純度

%

99.99995

熱容量

J kg-1 K-1

640

昇華温度

2700

感覚の強さ

MPa(室温4点)

415

ヤング率

Gpa (4pt曲げ、1300℃)

430

熱膨張 (C.T.E)

10-6K-1

4.5

熱伝導率

(W/mK)

300


の特徴炭化ケイ素コーティングバレルレシーバー

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。




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