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SiC コーティングされたバレルサセプター
Semicorex は、中国における SiC コーティングバレルサセプターの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社は炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などの半導体産業に注力しています。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
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製品説明
セミコレックスSiC コーティングされたバレルサセプターは、多くのエピタキシャル リアクターに適した、ウェーハ チップ上にエピタキシャル層を成長させるプロセスで使用される高純度 SiC コーティングされたグラファイト キャリアです。耐熱性、耐食性が高く、過酷な環境下でも優れた安定性を発揮します。
私たちのSiCコーティングバレルサセプタは高温酸化や腐食にも耐性があり、信頼性と耐久性に優れた製品です。融点が高いため、効率的な半導体製造に必要な高温環境に耐えることができます。
当社の詳細については、今すぐお問い合わせください。SiCコーティングバレルレシーバー
のパラメータSiCコーティングバレルレシーバー
|
CVD-SICコーティングの主な仕様 |
||
|
SiC-CVDの特性 |
||
|
結晶構造 |
FCC βフェーズ |
|
|
密度 |
g/cm3 |
3.21 |
|
硬度 |
ビッカース硬さ |
2500 |
|
粒度 |
μm |
2~10 |
|
化学純度 |
% |
99.99995 |
|
熱容量 |
J kg-1 K-1 |
640 |
|
昇華温度 |
℃ |
2700 |
|
感覚の強さ |
MPa(室温4点) |
415 |
|
ヤング率 |
Gpa (4pt曲げ、1300℃) |
430 |
|
熱膨張 (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
熱伝導率 |
(W/mK) |
300 |
の特徴SiCコーティングバレルレシーバー
- 剥がれを避け、すべての表面を確実にコーティングしてください。
高温酸化耐性：1600℃までの高温でも安定
高純度: 高温塩素化条件下での CVD 化学蒸着によって製造されます。
耐食性：高硬度、緻密な表面、微細な粒子。
耐食性: 酸、アルカリ、塩および有機試薬。
- 最適な層流ガス流パターンを実現
- 熱プロファイルの均一性を保証
- 汚染や不純物の拡散を防止します。
ホットタグ: SiC コーティングされたバレル サセプター、中国、メーカー、サプライヤー、工場、カスタマイズされた、バルク、高度な、耐久性
商品タグ
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