SiC コーティングされたバレルサセプタ

Semicorex は、中国における SiC コーティングバレルサセプターの大規模メーカーおよびサプライヤーです。当社は炭化ケイ素層やエピタキシー半導体などの半導体産業に注力しています。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちはあなたの長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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製品説明

セミコレックスSiC コーティングされたバレルサセプターは、多くのエピタキシャルリアクターに適した、ウェーハチップ上にエピタキシャル層を成長させるプロセスで使用される高純度 SiC コーティングされたグラファイトキャリアです。耐熱性、耐食性が高く、過酷な環境下でも優れた安定性を発揮します。
私たちのSiCコーティングバレルサセプタは高温酸化や腐食にも耐性があり、信頼性と耐久性に優れた製品です。融点が高いため、効率的な半導体製造に必要な高温環境に耐えることができます。
当社の詳細については、今すぐお問い合わせください。SiCコーティングバレルレシーバー

のパラメータSiCコーティングバレルレシーバー

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300