SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレル

半導体製造に関しては、優れた性能と卓越した熱分布を実現する Semicorex SiC コーティング エピタキシャル リアクター バレルが頼りになる選択肢です。高純度 SiC でコーティングされたこのグラファイト製品は、優れた耐食性と耐熱性を備え、常に信頼性の高い一貫した結果を保証します。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社の SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレルは価格面で優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレルのパラメータ

SiCコートエピタキシャルリアクターバレルの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。