炭化ケイ素 SiC コーティングバレルサセプター

Semicorex は、炭化ケイ素 SiC コーティングされたバレルサセプター、精密機械加工された高純度グラファイトの大手独立系メーカーで、半導体製造の炭化ケイ素コーティングされたグラファイト、炭化ケイ素セラミック、MOCVP 分野に重点を置いています。当社の炭化ケイ素 SiC コーティングバレルサセプタは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

セミコレックス炭化ケイ素 SiC コーティングバレルサセプターグラファイトに高純度SiCをコーティングした製品で、耐熱性、耐食性に優れています。 LPEに適しています。の炭化ケイ素半導体ウエハ上にエピキシャル層を形成する工程で使用される、熱伝導率が高く、熱分布に優れたSiCコートバレルサセプタです。

当社の詳細については、今すぐお問い合わせください。炭化ケイ素SiC コーティングされたバレルサセプター。

のパラメータ炭化ケイ素SiCコーティングバレルレシーバー

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300