液相エピタキシー (LPE) リアクター システム

当社の液相エピタキシー (LPE) リアクター システムは、信頼性と耐久性が高く、コストパフォーマンスに優れた製品です。高温酸化耐性、均一な熱プロファイル、汚染防止により、高品質のエピタキシャル層成長に最適です。メンテナンス要件が低く、カスタマイズ可能であるため、市場での競争力の高い製品となっています。

Semicorex では、高品質でコスト効率の高い製品をお客様に提供することに重点を置いています。当社の液相エピタキシー (LPE) リアクター システムは価格面で優位性があり、多くのヨーロッパおよびアメリカの市場に輸出されています。当社は、一貫した品質の製品と優れた顧客サービスを提供し、お客様の長期的なパートナーとなることを目指しています。

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液相エピタキシー (LPE) リアクター システムのパラメーター

液相エピタキシー (LPE) リアクター システムの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。