SiC コーティングされたバレル サセプター

Semicorex SiC コーティング バレル サセプタは、高純度 SiC でコーティングされた最高品質のグラファイト製品で、LPE プロセスやその他の半導体製造用途向けに特別に設計されています。その比類のない密度と熱伝導率により、高温および腐食環境において優れた熱分布と保護が提供されます。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い SiC コーティングバレルサセプタの提供に注力しており、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供しています。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

SiC コーティングバレルサセプタのパラメータ

SiCコートバレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において優れた保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。