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ウェーハキャリアトレイ

Semicorex は、半導体産業における炭化ケイ素層に焦点を当てた、OEM 半製造ツールおよびウェーハ処理コンポーネント向けの半導体グレードのセラミックを提供します。当社は長年にわたりウェーハキャリアトレイの製造および供給を行ってきました。当社のウェーハキャリアトレイは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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PSSエッチング用エッチングキャリアホルダー

Semicorex の PSS エッチング用エッチングキャリアホルダーは、最も要求の厳しいエピタキシー装置用途向けに設計されています。当社の超高純度グラファイトキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 SiC コーティングされたキャリアは、優れた熱分布特性と高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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ウエハ搬送用PSSハンドリングキャリア

Semicorex のウェーハ搬送用 PSS ハンドリングキャリアは、最も要求の厳しいエピタキシー装置アプリケーション向けに設計されています。当社の超高純度グラファイトキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 SiC コーティングされたキャリアは、優れた熱分布特性と高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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PSS LED用エッチングキャリアトレイ

Semicorex では、エピタキシャル成長やウェーハ取り扱いプロセスに必要な過酷な環境向けに、LED 用 PSS エッチングキャリアトレイを設計しました。当社の超高純度グラファイトキャリアは、MOCVD、エピタキシーサセプタ、パンケーキまたはサテライトプラットフォーム、エッチングなどのウェーハハンドリングプロセスなどの薄膜堆積フェーズに最適です。 SiCコートキャリアは耐熱性、耐食性が高く、熱分布特性に優れ、熱伝導率も高いです。当社の LED 用 PSS エッチングキャリアトレイはコスト効率が高く、価格面でのメリットが非常に優れています。当社は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場に対応しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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液相エピタキシー (LPE) リアクターシステム

Semicorex 液相エピタキシー (LPE) リアクターシステムは、優れた熱性能、均一な熱プロファイル、および優れたコーティング密着性を提供する革新的な製品です。高純度、高温酸化耐性、耐食性により、半導体産業での使用に最適です。カスタマイズ可能なオプションとコスト効率により、市場での競争力の高い製品となっています。

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耐久性のあるSiCコーティングされたバレルサセプター

優れた密度と熱伝導率を備えた Semicorex 耐久性 SiC コーティングバレルサセプタは、エピタキシャルプロセスやその他の半導体製造用途での使用に理想的な選択肢です。高純度 SiC コーティングは優れた保護特性と熱分散特性を提供し、信頼性が高く一貫した結果を得るために最適な選択肢となっています。

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