ウェーハキャリアトレイ

Semicorex は、エピタキシーや MOCVD などの薄膜堆積段階、またはウェーハ ハンドリング プロセスだけでなく、ウェーハをサポートするために使用される超高純度セラミック キャリアも提供しています。プロセスの核となるMOCVD用のウエハーキャリアトレイは、まず成膜環境にさらされるため、高い耐熱性と耐食性を備えています。また、SiCコーティングキャリアは熱伝導率が高く、熱分散性に優れています。
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ウェーハキャリアトレイのパラメータ

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結工程が異なります。 RBSiCは低温で遊離Siを炭化ケイ素に浸透させるもので、SSiCは2100度で自然収縮して形成されます。

2. SSiC は、表面がより滑らかで、密度が高く、強度が高いため、表面要件がより厳しい一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3. 異なる PH と温度の下で異なる使用時間、SSiC は RBSiC よりも長い

ウエハキャリアトレイの特長

- 耐用年数を改善するための CVD 炭化ケイ素コーティング。
・高性能精製リジッドカーボン製の断熱材。
・黒鉛基板、炭化ケイ素層ともに熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高純度のグラファイトと SiC コーティングにより、耐ピンホール性と長寿命を実現

炭化ケイ素セラミックスの利用可能な形状

・セラミックロッド・セラミックピン・セラミックプランジャー

â セラミックチューブ / セラミックブッシング / セラミックスリーブ

・セラミックリング・セラミックワッシャー・セラミックスペーサー

â セラミックディスク

â セラミックプレート・セラミックブロック

â セラミックボール

â セラミックピストン

…セラミックノズル

â セラミック坩堝

â その他カスタムセラミックパーツ