ウェーハキャリアトレイ

Semicorex は、エピタキシーや MOCVD などの薄膜堆積フェーズやウェーハ ハンドリング処理だけでなく、ウェーハを支持するために使用される超高純度セラミック キャリアも供給しています。 MOCVD プロセスの中心となるウェハ キャリア トレイは、最初に成膜環境にさらされるため、高い耐熱性と耐腐食性を備えています。また、SiC コーティングを施したキャリアは熱伝導率が高く、熱分布特性にも優れています。
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ウェーハキャリアトレイのパラメータ

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い

ウエハキャリアトレイの特長

- CVD 炭化ケイ素コーティングにより耐用年数が向上します。
・高性能精製硬質カーボン製断熱材。
・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。
- 高純度グラファイトと SiC コーティングにより、耐ピンホール性と長寿命を実現

炭化ケイ素セラミックスの製作可能形状：

●セラミックロッド/セラミックピン/セラミックプランジャー

●セラミックチューブ/セラミックブッシュ/セラミックスリーブ

●セラミックリング/セラミックワッシャー/セラミックスペーサー

●セラミックディスク

●セラミック板・セラミックブロック

●セラミックボール

●セラミックピストン

●セラミックノズル

●セラミックるつぼ

●その他カスタムセラミックパーツ