耐久性のあるSiCコーティングされたバレルサセプター

優れた耐熱性と耐腐食性を備えた高品質のグラファイト サセプターが必要な場合は、Semicorex 耐久性 SiC コーティング バレル サセプター以外に探す必要はありません。炭化ケイ素コーティングは優れた熱伝導性と熱分布を提供し、最も要求の厳しい高温環境でも信頼性の高い一貫したパフォーマンスを保証します。
当社の耐久性のある SiC コーティングバレルサセプターは、最適な層流ガス流パターンを実現し、熱プロファイルの均一性を保証するように設計されています。これにより、汚染や不純物の拡散が防止され、ウェーハチップ上で高品質のエピタキシャル成長が保証されます。
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耐久性のある SiC コーティングバレルサセプターのパラメータ

耐久性に優れたSiCコーティングバレルサセプタの特長

- グラファイト基板と炭化ケイ素層は両方とも良好な密度を備えており、高温および腐食性の作業環境において良好な保護役割を果たします。

- 単結晶成長に使用される炭化ケイ素コーティングされたサセプタは、非常に高い表面平坦性を持っています。

- グラファイト基板と炭化ケイ素層の熱膨張係数の差を低減し、接着強度を効果的に向上させ、亀裂や層間剥離を防ぎます。

・グラファイト基材と炭化ケイ素層はいずれも熱伝導率が高く、熱分布特性に優れています。

- 高融点、高温酸化耐性、耐食性。