炭化ケイ素ウェーハボート

セミコレックスの炭化ケイ素ウェーハボートは、極めて高純度（最大99.99％）、優れた耐プラズマ性と耐熱性、パーティクル発生の抑制を特徴としており、構造部品や工具などの半導体処理装置部品に使用されています。
Semicorex では、高品質でコスト効率の高い炭化ケイ素ウェーハ ボートの提供に重点を置き、顧客満足度を優先し、コスト効率の高いソリューションを提供します。当社は、高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、お客様の長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
当社の炭化ケイ素ウェーハボートの詳細については、今すぐお問い合わせください。

炭化ケイ素ウェーハボートのパラメータ

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結プロセスが異なります。 RBSiCは炭化ケイ素に低温で遊離Siを浸透させたもので、SSiCは2100度で自然収縮により形成されます。

2. SSiC はより滑らかな表面、より高密度、より高い強度を備えています。より厳しい表面要件を持つ一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3.異なるPHと温度で異なる使用時間、SSiCはRBSiCより長い

炭化ケイ素ウエハーボートの特長

優れた耐熱性と均熱性
微細なSiC結晶コーティングにより滑らかな表面を実現
薬品洗浄に対する高い耐久性
ひび割れや剥離が起きにくい素材設計となっております。