炭化ケイ素ウエハーボート

セミコア社のシリコンカーバイドウエハーボートは、純度が非常に高く（～99.99%）、耐プラズマ性、耐熱性に優れ、パーティクルの発生が抑制されており、構造部品や治工具などの半導体製造装置部品に使用されています。
Semicorex では、高品質で費用対効果の高いシリコン カーバイド ウエハー ボートの提供に重点を置いており、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供しています。高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
シリコン カーバイド ウエハー ボートの詳細については、今すぐお問い合わせください。

炭化ケイ素ウェーハ ボートのパラメータ

SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結工程が異なります。 RBSiCは低温で遊離Siを炭化ケイ素に浸透させるもので、SSiCは2100度で自然収縮して形成されます。

2. SSiC は、表面がより滑らかで、密度が高く、強度が高いため、表面要件がより厳しい一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3. 異なる PH と温度の下で異なる使用時間、SSiC は RBSiC よりも長い

炭化ケイ素ウエハーボートの特長

優れた耐熱性と均熱性
滑らかな表面のためにコーティングされた微細なSiC結晶
薬品洗浄に対する高い耐久性
割れや剥がれが生じにくい素材設計です。