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炭化ケイ素ウエハーボート
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炭化ケイ素ウエハーボート

Semicorex は、OEM セミファブリケーション ツールおよびウェーハ ハンドリング コンポーネント用の半導体グレードのセラミックを設計します。当社のシリコン カーバイド ウエハー ボートは、優れた価格優位性を備えており、ヨーロッパおよびアメリカの多くの市場をカバーしています。中国での長期的なパートナーになることを楽しみにしています。

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製品説明

セミコア社のシリコンカーバイドウエハーボートは、純度が非常に高く(~99.99%)、耐プラズマ性、耐熱性に優れ、パーティクルの発生が抑制されており、構造部品や治工具などの半導体製造装置部品に使用されています。
Semicorex では、高品質で費用対効果の高いシリコン カーバイド ウエハー ボートの提供に重点を置いており、顧客満足度を優先し、費用対効果の高いソリューションを提供しています。高品質の製品と優れた顧客サービスを提供する、長期的なパートナーになることを楽しみにしています。
シリコン カーバイド ウエハー ボートの詳細については、今すぐお問い合わせください。


炭化ケイ素ウェーハ ボートのパラメータ

技術的特性

索引

ユニット

価値

材料名

反応焼結炭化ケイ素

常圧焼結炭化ケイ素

再結晶炭化ケイ素

構成

RBSiC

SSiC

R-SiC

かさ密度

g/cm3

3

3.15±0.03

2.60-2.70

曲げ強度

MPa (kpsi)

338(49)

380(55)

80~90(20℃)90~100(1400℃)

圧縮強度

MPa (kpsi)

1120(158)

3970(560)

> 600

硬度

ヌープ

2700

2800

/

粘り強さを破る

MPa・m1/2

4.5

4

/

熱伝導率

W/m.k

95

120

23

熱膨張係数

10-6.1/℃

5

4

4.7

比熱

ジュール/g 0k

0.8

0.67

/

空気中の最高温度

1200

1500

1600

弾性率

Gpa

360

410

240


SSiC と RBSiC の違い:

1. 焼結工程が異なります。 RBSiCは低温で遊離Siを炭化ケイ素に浸透させるもので、SSiCは2100度で自然収縮して形成されます。

2. SSiC は、表面がより滑らかで、密度が高く、強度が高いため、表面要件がより厳しい一部のシーリングでは、SSiC の方が優れています。

3. 異なる PH と温度の下で異なる使用時間、SSiC は RBSiC よりも長い


炭化ケイ素ウエハーボートの特長

優れた耐熱性と均熱性
滑らかな表面のためにコーティングされた微細なSiC結晶
薬品洗浄に対する高い耐久性
割れや剥がれが生じにくい素材設計です。



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