SiCフィンガー

Semicorex SiC Finger は、精度と機能性を念頭に置いて設計されており、製造プロセスのさまざまな段階で半導体ウェーハを搬送する信頼性の高い効率的な手段として機能します。その堅牢な構造により、厳しい動作条件下でも長寿命と信頼性が保証されます。

SiC フィンガーの独特な形状により、半導体ウェーハの正確かつ安全なハンドリングが可能になり、処理チャンバーと装置間のシームレスな搬送が容易になります。この設計により、半導体製造において高い歩留まりと製品品質を維持する上で重要な要素であるウェーハの損傷や汚染のリスクが最小限に抑えられます。

炭化ケイ素で作られた SiC フィンガーには、いくつかの利点があります。最大の利点の 1 つは、SiC が優れた熱伝導性を備えていることです。これは、急速熱アニーリングや化学気相成長などのさまざまなウェーハ処理ステップ中に熱を効率的に伝達できることを意味します。さらに、その優れた機械的特性により、SiC フィンガーは時間の経過とともに変形したり劣化したりすることがないため、耐久性が高く、半導体製造での使用に適しています。

Semicorex SiC Finger は、半導体製造プロセスにおいて重要なツールです。これにより、製造プロセス全体を通じて、正確かつ信頼性が高く、汚染のないウェーハの搬送が可能になります。特殊な設計と頑丈な炭化ケイ素構造を備えた SiC フィンガーは、半導体製造の効率、歩留まり、品質を確保する上で極めて重要な役割を果たします。