SICセラミックカンチレバーパドル

セミコレックスSICセラミックカンチレバーパドルウェーハキャリアを炉に出入りさせるための重要なコンポーネントです。これらは、太陽光発電や半導体製造における酸化、拡散、LPCVD (低圧化学蒸着) 炉などの熱処理装置で広く使用されています。

反応結合炭化ケイ素（RBSIC）は機械的強度、熱安定性、耐高温性、耐酸化性、耐熱衝撃性、耐化学腐食性に優れているため、大型の炭化ケイ素カンチレバーパドルの製造に適しています。

セミコレックスSICセラミックカンチレバー パドルは、高品質の反応結合炭化ケイ素 (RBSiC) 材料の固有の機械的強度と剛性から高い耐荷重能力を引き出します。シリコンウェーハの重い負荷に耐えることができるこれらのパドルは、個々の拡散サイクルのスループットを最適化し、生産効率の向上に役立ちます。

反応結合炭化ケイ素の優れた材料特性により、SIC セラミック カンチレバー パドルは高温動作環境において優れた安定性を実現し、シリコン ウェーハと炉心管の同心性を確保し、拡散や不動態化などのプロセスをより均一にします。この安定性により、高温や重荷重による炭化ケイ素カンチレバー パドルの変形や損傷が効果的に回避され、シリコン ウェーハの損傷や機器の故障が生じるリスクが軽減されます。

Semicorex SiC セラミック カンチレバー パドルは、コンポーネントの寸法精度と形状の一貫性を維持するのに役立つ、一体型 3D プリント プロセスを採用しています。この SiC セラミック カンチレバー パドルの設計は、拡散炉システムとのシームレスな互換性も保証します。堅牢なカンチレバー構造により、スムーズで振動のない搬送が可能となり、ロードおよびアンロード時のウェーハの破損やずれの可能性を最小限に抑えます。

Semicorex にとって品質は最優先事項です。完成した炭化ケイ素カンチレバー パドルはすべて、その優れた品質を保証するために、寸法精度チェック、材料特性評価などの複数のテスト手順を受ける必要があります。ご購入が必要な場合は、お気軽にお問い合わせください。