半導体ウェーハチャック

Semicorex の高度な高純度炭化ケイ素でコーティングされたコンポーネントは、ウェーハ取り扱いプロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。当社の半導体ウェーハチャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

お問い合わせを送信

製品説明

Semicorex の超平面半導体ウェーハチャックは、ウェーハハンドリングプロセスで使用される高純度 SiC コーティングです。 MOCVD装置による半導体ウェーハチャック化合物成長により耐熱性、耐食性が高く、極限環境下でも安定性が高く、半導体ウェーハ加工の歩留まり管理を向上させます。低表面接触構成により、敏感な用途において裏面粒子のリスクが最小限に抑えられます。

半導体ウェーハチャックのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300