ロボットエンドエフェクター

Semicorex は、炭化ケイ素コーティングされたグラファイト、精密機械加工された高純度グラファイトの大手独立系メーカーで、半導体製造の炭化ケイ素コーティングされたグラファイト、炭化ケイ素セラミック、MOCVP 分野に重点を置いています。当社のロボットエンドエフェクターは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

ロボットエンドエフェクターは、半導体ウェーハをウェーハ処理装置とキャリアの間で移動させるロボットのハンドです。ロボットエンドエフェクターは、デバイスを損傷したり微粒子汚染を生成したりすることなくウェーハを安全に取り扱うために、寸法が正確で熱的に安定している必要があり、同時に滑らかで耐摩耗性の表面を備えている必要があります。当社の高純度炭化ケイ素 (SiC) コーティングのロボットエンドエフェクターは、優れた耐熱性、一貫したエピ層の厚さと抵抗を実現する均一な熱均一性、および耐久性のある耐薬品性を提供します。

ロボットエンドエフェクターのパラメータ

CVD-SICコーティングの主な仕様
SiC-CVDの特性
結晶構造	FCC βフェーズ
密度	g/cm3	3.21
硬度	ビッカース硬さ	2500
粒度	μm	2~10
化学純度	%	99.99995
熱容量	J kg-1 K-1	640
昇華温度	℃	2700
感覚の強さ	MPa(室温4点)	415
ヤング率	Gpa (4pt曲げ、1300℃)	430
熱膨張 (C.T.E)	10-6K-1	4.5
熱伝導率	(W/mK)	300