太陽光発電用SiCボート

PV用SiCボート移動を担当する運送業者として機能するシリコンウェーハ高温処理に使用される炉管に導入されます。その主な機能は、プロセス中にシリコン ウェーハが安定した位置と間隔を維持し、相互の接触や損傷を回避することです。太陽電池の製造では、シリコンウェーハを高温処理する必要があります。このように、高品質な太陽光発電用SiCボートは、シリコンウェーハ生産において品質と生産プロセスの効率を維持するために欠かせない重要な部品です。

Semicorex PV 用 SiC ボートは、複数の性能上の利点を備えており、高温作業環境の厳しい要件を満たすことができます。優れた熱安定性により、PV 用 SiC ボートは 1350°C ～ 1600°C で長期間確実に動作し、最大 1800°C の短期温度にも耐えることができます。そのため、高温の PV 製造ステップ (LPCVD、拡散、アニーリングなど) に最適であり、極端な温度または変動する温度によって引き起こされる変形や損傷を防ぎ、シリコン ウェーハの安定性を確保します。 

高品質のシリコンカーバイドから作られたウェハーボートは、非常に低い熱膨張係数を備えています。この重要な特性により、急激な温度変動に耐えることができ、熱応力による構造への損傷が軽減されます。その結果、ボートは熱衝撃による亀裂や破損から効果的に保護され、最終的には動作寿命が延びます。

炭化ケイ素材料は高純度で不純物含有量が低いのが特徴で、シリコンウェーハの二次汚染を回避します。したがって、ボートは太陽電池製造の厳しい清浄要件を満たし、電池の変換効率と歩留まりの向上に役立ちます。

PV 用 SiC ボートは 1 台あたり数十枚から数百枚のシリコンウェーハを運ぶ能力があります。構造強度が高いため、これらの炭化ケイ素ボートの平均耐用年数は従来の石英ボートの 5 ～ 10 倍です。この非常に長い耐用年数により、機器の交換頻度が大幅に減少し、太陽光発電メーカーの全体的な生産コストが削減されます。