製品

Semicorex Alumina Robot Armは、半導体製造における正確なウェーハ処理のために設計された高性能セラミックコンポーネントです。その優れた強度、断熱、および熱安定性により、クリーンルームの自動化環境を要求するのに最適です。

セミコレックスアルミナセラミックエンドエフェクターは、半導体製造および関連用途における信頼性の高い汚染のないウェーハ処理用に特別に設計された精密設計コンポーネントです。*

セミコレックス多孔質SICチャックは、半導体処理に安全で均一なウェーハ吸着のために設計された高性能セラミック真空チャックです。その設計されたマイクロ多孔質構造により、優れた真空分布が保証され、精密アプリケーションに最適です。*

Semicorex sic真空チャックは、半導体製造における安全なウェーハ吸着のために設計された高性能セラミックフィクスチャです。優れた熱、機械、および化学的特性により、要求の厳しいプロセス環境の安定性と精度を保証します。

Semicorex PBNコンポジットヒーターは、半導体、オプトエレクトロニクス、および材料研究業界で広く使用されている、高温の超クリーン真空環境向けに設計された高度な加熱要素です。業界をリードする専門知識、小型バッチのカスタマイズ、PBN加熱ソリューションの世界クラスの品質については、セミコレックスを選択してください。

ICP用のSemicorex SICキャリアは、誘導結合血漿（ICP）エッチングおよび堆積システムで使用するために特別に設計されたSICコーティンググラファイトで作られた高性能ウェーハホルダーです。世界をリードする異方性グラファイトの品質、精密な小型バッチ製造、および純度、一貫性、およびプロセスのパフォーマンスに対する妥協のないコミットメントについては、セミコレックスを選択してください。