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8インチのエピボトムリング
Semicorex 8インチEPIボトムリングは、エピタキシャルウェーハ処理に不可欠な堅牢なSICコーティンググラファイトコンポーネントです。すべての生産サイクルで比類のない材料の純度、コーティング精度、信頼できるパフォーマンスについては、Semicorexを選択してください。*
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8。インチEPIサポーター
Semicorex 8インチEPI受容器は、エピタキシャル堆積装置で使用するために設計された高性能SICコーティンググラファイトウェーハキャリアです。セミコレックスを選択することで、半導体業界の厳しい基準を満たすために調整された優れた材料の純度、精密な製造、一貫した製品の信頼性が確保されます。
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アルミナの取り付けベースプレート
セミコレックスアルミナ取り付けベースプレートは、半導体製造における正確なウェーハの取り扱いのために設計された高性能セラミックコンポーネントです。その優れた強度、断熱、および熱安定性により、クリーンルームの自動化環境を要求するのに最適です。
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シリコンカーバイド真空チャック
セミコレックス炭化シリコン真空チャックは、多孔質炭化物から作られた高性能ウェーハハンドリングソリューションです。取り付け(ワックスング)、薄く、脱線、洗浄、障害、迅速な熱アニーリング(RTA)などの重要なプロセス中に、半導体ウェーハの真空吸着のために特異的に設計されています。一致していない材料の純度、寸法精度、および要求の厳しい半導体環境における信頼できるパフォーマンスについては、セミコレックスを選択してください。*
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グラファイトロッドヒーター
セミコレックスグラファイトロッドヒーターは、真空炉内の均一な高温発生用に設計された高性能加熱要素です。精密設計グラファイトソリューションの専門知識については、産業ニーズに合わせて優れた熱安定性と長期にわたるパフォーマンスを提供するために、Semicorexを選択してください。
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グラファイト電極ロッド
セミコレックスグラファイト電極ロッドは、真空炉のコア加熱要素として使用される高純度グラファイトコンポーネントです。比類のない材料の品質、精密機械加工、および高温真空環境での信頼できるパフォーマンスについては、セミコレックスを選択してください。
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