アルミナの取り付けベースプレート

Semicorex Alumina Mountingベースプレートは、半導体製造装置に作業チャックを取り付けるための耐久性と安定したベースとして設計された高純度セラミック製品です。これらのプレートは、リソグラフィ、エッチング、堆積、検査などのウェーハ処理操作の重要な機械的サポートとアラインメントを提供します。作業チャックを他のシステムコンポーネントと正確に整列させて、必要な忠実度でウェーハ処理が発生するようにすることが不可欠です。プレートは、セラミックに固有の処理技術を通じて製造されており、プロセス環境とクリーンルーム環境の両方で最新の半導体製造の厳しい要件を満たすために、必要な平坦性、高温耐久性、および長期的な信頼性を実現します。

セミコレックスアルミナ取り付けベースプレートは、高純度から作られていますアルミナ純度レベルを持つ99.5％（典型）。高純度のアルミナには、硬度だけでなく、優れた機械的および熱特性があります。高純度のアルミナには、これらのプレートを真空および高電圧アプリケーションで使用することを可能にする優れた固有の電気絶縁特性があります。アルミナは熱サイクリングに耐性があります。これにより、プレートはほとんどの材料よりも優れた寸法精度を維持できるようになり、熱膨張の減少によりアライメントまたは構造の安定性を維持するのに有益です。この要因は、拡張生産サイクルで動作しながら、チャックの再現性と暗黙のプロセス許容度を確保する上で重要です。

半導体処理システムでは、ベースプレートの取り付けは、単なる機械的留め具のためのデバイスではありません。これは、チャックと残りの機器の間の熱接触の媒体であり、熱散逸、構造の完全性、および振動分離に重要です。 CVD、PVD、またはイオン移植などの処理アクションは、高温と真空圧が一般的であるため、熱耐性、化学的に不活性で耐性、機械的に健全で、熱ショックに耐性があるため、取り付けベースが必要です。マウントは反応性ガスと化学の洗浄、マウントの耐用年数を延長し、汚染を防止する必要があるため、化学的不活性が不可欠です。

Semicorexによって作られたすべてのアルミナ取り付けベースプレートは、半導体OEMおよび機器インテグレーターによって要求される許容範囲に加えられています。プレートは、厚さ、高さの変動、平坦性に対して緊密な許容範囲に機械加工され、最大の安定性と再現性を確保します。これらの取り付けプレートは、取り付け穴、スロット、または顧客仕様に合わせて作られて、作業チャック、機械段階、またはその他の機器に適したものに対応できます。アルミナセラミックは、均一な微細構造と表面の品質を最適化するために、最新の焼結および精密粉砕技術を使用して処理され、時間の経過とともに使用するための一貫した熱接触とアライメントを確保します。

セミコレックスアルミナ取り付けベースプレートは、ウェーハハンドラー、ロボット伝達システム、真空チャックアセンブリ、計量段階など、さまざまなアプリケーションで使用されています。さまざまな要求の厳しいプロセス状況でのこの信頼性と耐久性により、堅牢で長持ちし、メンテナンスの低いセラミックコンポーネントを探しているツールメーカーで選択した製品になります。当社のエンジニアリンググループは、顧客と提携して、各プレートに指定されたユニークなソリューションを提供して、半導体の生産の効率を最大化します。

アルミナの取り付けベースプレートは、単なる機械的サポート以上のものです。これは、半導体業界の精密エンジニアリングの重要な要素です。優れた機械的安定性、純度、および構成性により、広範なプロセスツールでの正確なアラインメント、長寿命、および信頼できる操作を保証します。高性能の取り付けベースプレートの場合、今日の半導体メーカーの高い期待に応えて、Semicorexを信頼してください。