アルミナセラミックウェーハチャック

Semicorex アルミナ セラミック ウェーハ チャックの多孔性の性質により、高い比表面積が得られます。これは、より多くの表面積がターゲット オブジェクトとの相互作用に利用できることを意味します。高い気孔率により吸着性が向上し、研削中にウェーハを確実かつ均一に保持できます。この均一性は、半導体製造における中心的な要件である、高品質で欠陥のないウェーハ表面を実現するために不可欠です。

アルミナ セラミック ウェーハ チャックは良好な熱伝導率を示し、これは研削プロセス中に熱を効果的に放散するために不可欠です。この熱管理により、チャックとワークピースの両方への損傷が防止され、ウェーハ製造の高精度が保証されます。さらに、アルミナ セラミック ウェーハ チャックは、変形や構造的完全性の損失なしに高温に耐えることができるため、半導体処理装置などの極端な条件下で動作する用途に適しています。

アルミナ セラミック ウェーハ チャックの不活性な性質により、さまざまな化学物質に対する強い耐腐食性が得られます。腐食性物質に対するこの耐性は、チャックの完全性を維持するためだけでなく、処理中のウェハの汚染を防ぐためにも重要です。化学的安定性により、アルミナ セラミック ウェーハ チャックがプロセス化学薬品や処理される材料と反応しないことが保証されます。これは、半導体製造やその他の敏感な用途において最も重要です。