アルミナチャック

Semicorex アルミナ チャックは、アルミナ セラミックから細心の注意を払って作られた、半導体プロセスの基礎となるツールです。この特殊な材料には、高純度タイプと通常タイプの 2 つの異なる種類があり、それぞれ独自の用途と特性を備えています。

Al2O3含有率99.9%以上を誇る高純度アルミナセラミックスは、純度と弾力性に優れています。 1650 ～ 1990°C の範囲の焼結温度で形成されたこれらのセラミックは、1 ～ 6 μm の波長範囲内で優れた光透過特性を備えています。その多用途性は、溶融ガラス用途における白金るつぼの代替から、ナトリウムランプなどのアルカリや金属の腐食力への耐性まで、さまざまな業界に広がっています。エレクトロニクスの分野では、集積回路の基板や高周波絶縁材料として使用されます。

一方、通常のアルミナセラミックは、それぞれの Al2O3 含有量によって示される、99%、95%、90%、およびそれ以上を含むさまざまな組成範囲を包含します。これらのセラミックは、99 アルミナが高温るつぼ、耐火炉管、セラミック ベアリングやシールなどの耐摩耗性コンポーネントに使用され、さまざまなニーズに応えます。一方、95アルミナ系は耐食性と耐摩耗性に優れています。タルクを強化した一部の配合物は、電気的特性と機械的強度が向上し、モリブデン、ニオブ、タンタルなどの金属によるシールが不可欠な電気真空装置やその他の特殊用途への組み込みを容易にします。

アルミナ セラミックの堅牢性と多用途性を具現化したアルミナ チャックは、半導体製造に不可欠な設備として登場しました。アルミナ チャックは、その精密エンジニアリングと極限条件に対する回復力により、重要な処理段階で繊細な半導体ウェーハを固定し、最終製品の完全性と品質を保証するために不可欠なものとなっています。