アルミナロボットアーム

Semicorex Alumina Robot Armは、半導体の生産におけるウェーハの取り扱いと転送タスク用に設計された高性能セラミック部品です。高純度のアルミナセラミック（Al₂o₃）から作られたこのロボットアームは、クリーンルームでの柔軟性、精度、信頼性、耐久性を提供します。

アルミナロボットアームに有利に際立っているのは、アルミナセラミック機械的な強さと硬度。としてアルミナより純粋に作られると、アルミナはより良い構造的完全性を維持し、機械的な摩耗や変形により耐性を高めます。材料として、アルミナは、繊細で反復的なウェーハ処理タスクで使用されるロボット部品に最適です。つまり、ロボットアームが同じ機能を実行し、ウェーハと接触する必要がある場合、ロボットアームによってウェーハに適用される軽度の歪みが施設の獲得をコストする可能性があります。高い硬度、すなわち剛性表面は、研磨抵抗と機能的寿命、つまりロボットコンポーネントのサービス/交換の寿命と持続時間を延長するのに役立ちます。

その機械的な耐久性を超えて、アルミナロボットアームは優れた電気絶縁体でもあります。抵抗率は最大10¹⁵ω・cmであり、断熱強度は室温で最大15 kV/mmであるため、特に加工装置で干渉する電気信号を減らす必要がある場合は、より安全な環境を動作させます。これは、静電放電（ESD）損傷のリスクを最小限に抑えてプロセス間を転送する敏感な半導体成分を保護する場合に重要になります。

アルミナセラミックは、非常に高い温度で安定性を維持するのに優れています。融点は約2050°Cで、歪みや寸法の精度なしに半導体熱処理の高温に耐えます。高耐熱性により、精度のアライメントと熱安定性が重要である迅速な熱アニーリング（RTA）や化学蒸気堆積（CVD）などのプロセスで腕を使用できます。

アルミナロボットアームの他の重要な利点の1つは、その不活性です。その表面は、半導体製造に使用されるほとんどの洗浄剤とプロセスガスにとって不活性です。したがって、それは汚染のないままであり、ウェーハ表面汚染に寄与しません。この化学的不活性は、超クリーンの生産条件を達成し、一貫したデバイスパフォーマンスを提供するための鍵です。

アルミナセラミックまた、半導体ツールの手頃な価格のオプションです。それは原料として容易に入手でき、アルミナセラミックの機械加工プロセスはよく理解され、簡単にスケーラブルです。これにより、高品質の部品が競争力のある価格で生産できるように、再現性のある一貫した許容範囲が可能になります。パフォーマンスと手頃な価格の組み合わせにより、アルミナロボットアームは、銀行を壊さない信頼できる自動化コンポーネントが必要なOEMや半導体ファブに最適です。

要約すると、アルミナロボットアームは、機械的性能が高く、誘電率が高く、熱抵抗が高く、化学性能が高く、すべてが経済的な価格で製造可能性が実証されています。集合的に、これらのパフォーマンス特性により、半導体製造における精密ウェーハの取り扱いアプリケーションに信頼性が高く効率的になり、収量の改善、汚染リスクが低下し、機器全体の有効性が向上します。