アルミナセラミックエンドエフェクター

セミコレックスアルミナセラミックエンドエフェクターは、自動化されたウェーハ移動システムに不可欠なツールであり、比類のない機械的強度、熱安定性、および耐薬品性を提供します。高純度を使用して製造されていますアルミナ（al₂o₃）セラミック、このエンドエフェクターは、正確さ、清潔さ、耐久性が最重要であるウェーハ処理環境の厳しい需要を満たすように設計されています。

半導体ロボットアームは、半導体機器の重要な部分の1つです。通常、コントローラー、ドライバー、アーム、エンドエフェクターで構成されています。それらは、清潔さ、高い安定性、高精度、高効率、高い信頼性によって特徴付けられます。半導体ロボットは、主に半導体製造のフロントエンドプロセスで使用され、半導体ウェーハを携帯、輸送、配置します。

アルミナ含有量を通常99.5％以上のセラミック構造は、時間の経過とともに分解することなく、高精度環境で繰り返しの動きに優れた硬度と耐摩耗性を提供します。アルミナの高い熱伝導率と低熱膨張により、温度が上昇した環境で寸法安定性が得られます。これは、エッチャー、デポジッター、検査、または洗浄ツールなどの半導体でのほとんどのクリーンルーム操作で必要です。

Theアルミナセラミックエンドエフェクターは、滑らかで低気孔率を持つ顕著な特性表面仕上げを持ち、ゼロ粒子が生成され、ウエハーの取り扱い中に汚染物質に最小化またはゼロの影響を与えます。さらに、アルミナは化学的に不活性です。これは、プロセスガスや、ウェーハが接触しているプロセス液体と反応しないことを意味します。これにより、腐食を引き起こす可能性のあるものから、ウェーハとそれ自体への汚染と機器が保護されます。

それらは一般に、エッチャーまたはデポスチオンツールなどのウェーハ製造用具および装備のロボットアームまたは転送モジュールのエンドエフェクター、またはクランプメカニズムとして使用されます。エンドエフェクターは通常、25 cm/秒でウェーハ転送速度を処理します。

カスタマイズオプションは、特定の機器インターフェイスまたはウェーハサイズ用に設計されたラインに沿って存在します。アルミナの構造的剛性により、ハンドリングシステムの全体的な質量を最小限に抑え、応答時間が短縮される薄くて軽量のプロファイルが可能になります。一部の構成では、敏感な電子基板に追加の保護を提供するために、抗静止コンポーネントまたは絶縁コンポーネントを追加する場合があります。

全体として、アルミナセラミックエンドエフェクターは、収量の改善と汚染の減少を促進する効果的なソリューションを提供します。ここでは、運用上の信頼性がウェーハ処理ラインの重要な要素です。その耐久性と身体性パフォーマンスの特性により、効果的で費用対効果の高いアルミナセラミックエンドエフェクターは、超伝統的な機器メーカーと、超クリーン環境で厳しい生産基準を必要とするファブの間で人気のある選択肢として区別されます。