PBNコンポジットヒーター

Semicorex PBN複合ヒーターは、熱分解グラファイトの優れた熱伝導率と、化学的不活性と窒化熱化ホウ素の電気断熱性を融合します。これらのヒーターは、高純度CVD（化学蒸気堆積）プロセスを使用して高純度堆積条件下で適用される非常に高い純度グラファイトとPBNで構築されています。個々の達成層は、非常に極端な制御可能性で堆積しており、超高純度と一貫した熱特性を確保しています。全体に迅速かつ均一な加熱を提供するグラファイトコアは、PBNカプセルによる酸化と汚染から保護されています。これにより、ヒーターは真空ガス環境や不活性ガス環境に最適です。これらのPBNヒーターは、MBE（分子ビームエピタキシー）反応器、CVD反応器、およびその他の結晶成長システムで使用するために意図的に設計されています。

発熱性ホウ素窒化ホウ素消化グラファイト（PBN-PG）複合ヒーターは、高断熱PBNを基質として使用し、低圧（10TORR以下）で低圧熱分解化学蒸気堆積（CVD）を使用し、導電性PGをコーティングするヒーターを使用するヒーターです。この複合ヒーターの主な成分は、窒化熱分解ホウ素（PBN）と熱分解グラファイト（PG）です。その優れた腐食抵抗と高温抵抗により、主に半導体基質加熱（MBE、MOCVD、スパッタリングコーティングなど）に使用されます。超伝導体基板加熱;サンプル分析中のサンプル加熱。電子顕微鏡サンプル加熱;金属加熱;金属蒸発加熱源など

PBNヒーターは、最大1600°Cの真空の動作温度に耐えることができ、依存する金属ベースの代替品に対して熱ショックに耐える能力が向上します。ヒーターの表面は非常に滑らかで密度が高く、動作中に粒子が大幅に少なくなります。これは、半導体ウェーハ処理などの汚染が許容できないアプリケーションにとって重要です。

複合構造は、ヒーター表面全体に優れた熱均一性を提供し、その抵抗経路をカスタマイズして、調整された熱分布を可能にすることができます。この設計により、使用済み材料の同じ熱膨張係数のために、亀裂や剥離せずに処理中に迅速なランプアップとクールダウンサイクルが可能になります。電極は連続的な高電流動作に耐えることができ、真空にも互換性があります。

Semicorexは、特定のアプリケーションのニーズを満たすために、必要に応じて、必要に応じてユニークな形状、サイズ、電力要件に無制限の設計の柔軟性を提供します。標準のウェーハサイズであろうと、より複雑な形状のいずれであろうと、生成されたすべてのユニットの寸法精度と熱均一性を保証します。

PBNコンポジットヒーターは、以下を含む超クリーンアプリケーションに最適です。

• III-VおよびII-VI化合物半導体処理のMBEシステム
• 光学成分用の真空コーティングシステム
• サファイアとSICのクリスタル成長システム
• 研究開発ラボ環境のための高純度の熱処理。