PBNヒーターチャック

Semicorex PBN ヒーター チャックは、揺るぎない信頼性で極端な温度や腐食環境に耐える弾力性を体現しています。

窒化ホウ素セラミックの多用途性は、その優れた特性が輝かせるさまざまな業界に応用されています。るつぼ内での結晶成長の促進から高温炉の絶縁体としての役割まで、Semicorex PBN ヒーター チャックは不可欠であることが証明されています。これらは真空システム内の電気絶縁体として優れており、細心の注意を払って設計されたフィードスルー機構を通じてシームレスな高電圧動作を可能にします。

Semicorex PBN ヒーター チャックは 1700°C を超える温度で動作し、熱均一性を再定義し、超高真空環境内でのウェーハ表面の変動はわずか 2°C です。耐火材料の特徴である脆くない組成により、最も厳しい条件下でも耐久性が保証されます。 Semicorex PBN ヒーター チャックは、高温化学蒸着プロセスを通じて製造され、比類のない純度を実現し、腐食性ガス、液体、さらには溶融金属に対しても不浸透性を実現します。

現代産業の多様なニーズを認識し、当社は最高 1000°C の温度に対応するオーダーメイドの PBN ヒーター チャック設計を提供し、ハイテク環境でのシームレスなウェーハのハンドリングを容易にします。革新性と精度に対する当社の取り組みにより、比類のない専門知識と職人技でお客様の特定の要件が確実に満たされます。