拡散炉管

拡散炉管は通常、高純度の石英または SiC で作られており、どちらも優れた熱安定性と化学反応に対する耐性を備えています。拡散炉管は処理中の半導体材料に不純物を導入してはならないため、これは重要です。ほんのわずかな不純物であっても、製造された半導体デバイスの性能と信頼性に重​​大な悪影響を与える可能性があります。

拡散炉管の構築に使用される材料は、処理中の半導体ウェーハの汚染を防ぐために高純度のものを選択します。拡散炉チューブは、構造的完全性を変形したり損なったりすることなく、半導体処理中に遭遇する極端な温度に耐えます。これにより、長期間の動作にわたって一貫した信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。熱安定性に加えて、拡散炉管は半導体プロセスで使用される化学物質やガスの腐食作用に対する耐性も示します。これにより、時間の経過によるチューブの劣化が防止され、長寿命が保証されます。

一部の拡散炉管には、性能をさらに強化したり、汚染や化学反応に対する追加の保護を提供するために、特殊な材料で作られたライナーが付いている場合があります。これらのライナーは、チューブ材料の特性と半導体製造プロセスの特定の要件を補完するように慎重に選択されています。