ウエハーボート

Semicorex ウェーハボートは、高温、腐食環境、拡散プロセス中の正確なウェーハ配置の必要性など、拡散炉の過酷な条件に耐えられるように設計されています。

ウェハーボートは、その優れた特性により選ばれた炭化ケイ素セラミックで作られています。炭化ケイ素は熱伝導率が高いことで知られており、拡散中にウェーハ全体に均一な温度分布が保証されます。この均一性は、ウェーハの完全性を維持し、製造される半導体デバイスの機能に不可欠な一貫したドーピング レベルを確保するために非常に重要です。さらに、炭化ケイ素は高い融点と熱安定性を備えているため、拡散プロセスで必要とされる高温（多くの場合 1000°C を超える）でも、劣化したり歪んだりすることなくウェーハボートを動作させることができます。

ウェーハボートにおける炭化ケイ素セラミックの主な利点の 1 つは、その優れた耐薬品性です。この抵抗は、いかなる汚染も最終製品の欠陥につながり、集積回路の性能を損なう可能性があるため、半導体ウェーハの純度を維持する上で特に重要です。

ウェハー ボートの構造的完全性は、その設計におけるもう 1 つの重要な要素です。設計では、ウェーハが反応性ガスに均等にさらされるように正確な間隔で所定の位置にしっかりと保持されるようにする必要があります。この精度は、すべてのウェーハにわたって均一なドーピングを実現するために不可欠であり、これは半導体デバイスの電気特性に直接影響を与えます。

炭化ケイ素セラミックは、熱的および化学的特性に加えて、半導体製造の高精度要件に不可欠な優れた寸法安定性を備えています。この安定性により、ウェーハが完全に位置合わせされた状態が維持され、各ウェーハの表面全体にドーパントが正確かつ均一に拡散することが可能になり、高品質の半導体デバイスの生産につながります。

Semicorex ウェーハボートは炭化ケイ素セラミック製で、半導体の拡散プロセスに不可欠なコンポーネントです。卓越した熱伝導性、耐薬品性、機械的強度、寸法安定性により、半導体製造の厳しい条件に最適です。これを使用すると、拡散プロセスの効率と信頼性が向上するだけでなく、半導体製造の全体的な費用対効果にも貢献します。