垂直ウエハーボート

Semicorex 垂直ウェーハ ボートは、処理チャンバ内のスペース効率を最大化する、複数のウェーハ用に特別に設計されたキャリアです。これらの垂直ウェーハボートは通常、長方形または円筒形であり、各ボートには、個々のウェーハを直立位置にしっかりと保持するために間隔をあけて配置された精密機械加工されたスロットまたはポケットがあります。垂直ウェーハボートは、高温、腐食性化学物質、機械的ストレスに対する優れた耐性を備えた炭化ケイ素 (SiC) で作られており、潜在的な損傷からウェーハを保護するのに最適です。

半導体製造中、ウェーハは拡散、RTP、熱場などの数多くの複雑なプロセスを経ます。垂直ウェーハボートは、ウェーハのキャリアとして機能し、異なる装置やステージ間のシームレスな搬送を可能にすることで、これらのプロセスを促進する上で重要な役割を果たします。垂直方向に配置されているため、処理チャンバー内の設置面積が最小限に抑えられ、スループットが最適化され、大量のウェーハの効率的な処理が可能になります。

Semicorex 垂直ウェーハ ボートは半導体処理の基礎であり、製造のさまざまな段階を通じてウェーハを安全に取り扱い、輸送するための堅牢で信頼性の高いソリューションを提供します。その先進的な設計と SiC の優れた特性は、最先端の半導体デバイスの製造における極めて重要な役割を強調しています。