炭化タンタルるつぼ

Semicorex タンタルカーバイドるつぼは、グラファイトから細心の注意を払って作られ、炭化タンタル (TaC) でコーティングされています。この組み合わせは、SiC 結晶成長の高温で化学的に厳しい環境で優れた性能を発揮します。

炭化タンタルは、その並外れた硬度、耐薬品性、および極度の高温でも構造の完全性を維持する能力で知られる耐火セラミック材料です。黒鉛るつぼを TaC でコーティングすることにより、炭化タンタルるつぼはこれらの有利な特性を継承し、その性能と寿命を大幅に向上させます。 TaC コーティングは保護バリアとして機能し、グラファイトが成長プロセス中に存在する SiC 材料やその他のガスと反応するのを防ぎます。これにより、るつぼがその完全性を維持し、SiC 結晶の品質を損なう可能性のある汚染物質が混入しないことが保証されます。

炭化タンタルるつぼは、SiC 結晶の成長に必要な高温で動作する能力を備えています。 SiC 結晶は通常 2000°C を超える温度で成長し、高品質の結晶を製造するにはこのような高温を一貫して維持することが重要です。 TaC コーティングされたグラファイトるつぼは、変形や劣化することなくこれらの極端な条件に耐えることができ、結晶成長プロセスに安定した環境を提供します。この安定性は、半導体用途に必要な望ましい結晶サイズ、純度、構造特性を達成するために不可欠です。

炭化タンタルるつぼは耐薬品性に​​優れており、SiC結晶成長には欠かせません。成長プロセス全体を通じて、SiC 結晶の形成を促進するためにさまざまなガスや反応種が導入されます。これらの環境は腐食性が高く、るつぼの構造的完全性にリスクをもたらす可能性があります。 TaC コーティングは、これらの腐食性要素からグラファイトを効果的に保護し、プロセス中にるつぼが無傷で機能し続けることを保証します。この化学的攻撃に対する耐性は、るつぼの寿命を延ばすだけでなく、結晶成長操作の全体的な効率と費用対効果にも貢献します。