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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
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密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
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CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
|
上記は代表的な値です |
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- View as
TaC コーティングされたグラファイトサセプター
Semicorex の最先端の TaC コーティング グラファイト サセプタは、ウェーハのエピタキシャル プロセスを効率と精度の新たな高みに引き上げるように設計された革新的なコンポーネントです。 Semicorex TaC コーティング グラファイト サセプタは、比類のない専門知識と最先端技術を活用して作られ、半導体製造の厳しい要求を満たすように設計されています。
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炭化タンタルコーティングされたグラファイト部品
Semicorex は、カスタマイズされたサービスを備えた高品質のタンタルカーバイドコーティングされたグラファイト部品を提供します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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炭化タンタルコーティングされたグラファイトレシーバー
Semicorex は、タンタルカーバイドコーティングされたグラファイトサセプタをカスタマイズされたサービスで提供します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティング多孔質黒鉛
Semicorex TaC コーティング多孔質グラファイトは、半導体プロセスにおける先進的な高純度材料です。この重要な装置は、単結晶 SiC の成長プロセスにおいて極めて重要な役割を果たします。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティングリング
専門メーカーとして、私たちはTaCコーティングされたリングを提供したいと考えています。半導体装置向けの最先端ソリューションである CVD Tac コーティング リングをご紹介します。この最先端の製品は、優れた耐久性と耐摩耗性を提供する高度な化学蒸着 (CVD) コーティングを誇っています。
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TaC コーティングされたるつぼ
最高レベルの品質と性能を求める半導体装置メーカーおよびユーザーに最適なソリューションである CVD Tac コーティングるつぼをご紹介します。当社のるつぼは最先端の CVD Tac (炭化タンタル) 層でコーティングされており、耐腐食性と耐摩耗性に優れており、さまざまな半導体用途での使用に最適です。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
