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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
|
コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
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上記は代表的な値です |
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- View as
TaC コーティングされたグラファイト部品
Semicorex TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体プロセスの厳しい環境に耐えるように特別に設計された精密に作られたコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティンググラファイトカバー
Semicorex TaC コーティング グラファイト カバーは、結晶成長およびエピタキシャル (エピ) プロセスの熱用途の分野における最先端のソリューションを代表します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコーティングリング
Semicorex TaC コーティング リングは、熱場内での単結晶成長の領域において極めて重要なコンポーネントとして機能します。精密かつ革新的に作られたこの特殊なガイド リングは、単結晶材料の複雑な製造プロセスにおいて重要な役割を果たします。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaC コーティングされたウェーハサセプタ
Semicorex TaC コーティング ウェーハ サセプタは、半導体エピタキシャル (エピ) プロセス用の有機金属化学蒸着 (MOCVD) 炉で使用される重要なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaC炭化タンタルコート板
Semicorex TaC 炭化タンタル コーティング プレートは、半導体製造、特にエピタキシャル (エピ) 処理段階における厳しい要求を満たすように設計された最先端のソリューションです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
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TaCコートガイドリング
SiC（炭化ケイ素）単結晶育成炉の革新の最高峰、セミコレックスTaCコートガイドリング。半導体業界の厳しい要求を満たすよう細心の注意を払って設計されたこのガイド リングは、比類のない精度と信頼性で結晶成長プロセスを再定義することを約束します。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
