TaC コーティングるつぼ

半導体結晶成長における Semicorex TaC コーティングるつぼの主な利点:

超高純度による優れた結晶品質:高純度等方性黒鉛と化学的に不活性な TaC コーティングの組み合わせにより、溶融物中に不純物が浸出するリスクが最小限に抑えられます。これは、高性能半導体デバイスに必要な優れた材料純度を達成するために最も重要です。

結晶の均一性を高めるための正確な温度制御:TaC コーティングによって強化された静水圧グラファイトの均一な熱特性により、溶融物全体の正確な温度制御が可能になります。 TaC コーティングるつぼのこの均一性は、結晶化プロセスを制御し、欠陥を最小限に抑え、成長した結晶全体で均一な電気的特性を達成するために非常に重要です。

るつぼの寿命を延長してプロセスの経済性を向上:堅牢な TaC コーティングは、摩耗、腐食、熱衝撃に対する優れた耐性を提供し、コーティングされていない代替品と比較して、TaC コーティングるつぼの動作寿命を大幅に延長します。これにより、るつぼの交換が減り、ダウンタイムが短縮され、プロセス全体の経済性が向上します。

先進的な半導体アプリケーションの実現:

先進的な TaC コーティングるつぼは、次世代半導体材料の成長において採用が増加しています。

化合物半導体:TaC コーティングるつぼによって提供される制御された環境と化学的適合性は、高周波エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、その他の要求の厳しいアプリケーションで使用されるガリウムヒ素 (GaAs) やリン化インジウム (InP) などの複雑な化合物半導体の成長に不可欠です。 。

高融点材料:TaC コーティングるつぼの卓越した耐熱性により、パワー エレクトロニクスやその他の高性能アプリケーションに革命をもたらしている炭化ケイ素 (SiC) や窒化ガリウム (GaN) などの高融点半導体材料の成長に最適です。