TaCコートチューブ

Semicorex TaC コーティング チューブの威力は、基材と特殊コーティングの相乗効果にあります。

高純度等方性グラファイトファンデーション:TaC コーティング チューブのコアは、優れた熱伝導率、低い熱膨張、および熱衝撃に対する固有の耐性で知られる超高純度等方性グラファイトから形成されています。この基盤は、半導体プロセスの特徴である急速な温度変動と高い熱負荷に耐えることができる堅牢で安定したプラットフォームを提供します。

炭化タンタル---耐久性と不活性性のシールド:CVD で塗布された TaC コーティングはグラファイト基材を変化させ、優れた硬度、耐摩耗性、化学的不活性性を与えます。この保護層は、半導体製造中に遭遇する攻撃的なガス、プラズマ、反応種に対するバリアとして機能し、チューブの構造的完全性と寿命を保証します。

このユニークな材料の組み合わせは、高度な半導体製造にとって重要なさまざまな利点をもたらします。

比類のない温度耐性:TaC は、既知の材料の中で最も高い融点の 1 つを誇り、炭化ケイ素 (SiC) をも上回ります。この極めて高い耐熱性により、TaC コーティング チューブは 2500°C を超える温度を必要とするプロセスで確実に動作することができ、厳しい熱バジェットを備えた次世代半導体デバイスの製造が可能になります。

重要なプロセス制御のための超高純度:半導体製造においては、初期のプロセス環境を維持することが最も重要です。高純度グラファイトの使用と細心の注意を払った CVD コーティングプロセスにより、TaC コーティングチューブからのガス放出や微粒子の発生が最小限に抑えられ、傷つきやすいウェーハ表面やデバイスの性能を損なう可能性のある汚染が防止されます。

揺るぎない耐薬品性:TaC コーティング チューブの化学的不活性により、エッチング、蒸着、アニーリングなどの半導体プロセスで一般的に使用される広範囲の腐食性ガス、反応性イオン、プラズマ環境に対して優れた耐性が得られます。この堅牢な化学的安定性により、チューブの寿命が延長され、メンテナンスの必要性が軽減され、全体的な所有コストが削減されます。

機械的耐久性の向上による耐用年数の延長:TaC コーティングとグラファイト基材間の強力な結合力と、TaC コーティング チューブの固有の硬度が相まって、摩耗、侵食、機械的ストレスに対する優れた耐性を実現します。この耐久性の向上により、耐用年数が長くなり、交換時のダウンタイムが減少し、プロセスの効率とスループットが向上します。