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中国 TaCコーティング メーカー、サプライヤー、工場
TaC コーティング グラファイトは、独自の化学蒸着 (CVD) プロセスにより、高純度グラファイト基板の表面を炭化タンタルの微細層でコーティングすることによって作成されます。
炭化タンタル (TaC) は、タンタルと炭素からなる化合物です。金属的な導電性と非常に高い融点を備えており、その強度、硬度、耐熱性と耐摩耗性で知られる耐火セラミック材料です。炭化タンタルの融点は、純度に応じて約 3880°C でピークに達し、二元化合物の中で最も高い融点の 1 つです。このため、高温要求が MOCVD や LPE などの化合物半導体エピタキシャル プロセスで使用される性能能力を超える場合に、魅力的な代替手段となります。
Semicorex TaCコーティングの材料データ
|
プロジェクト |
パラメータ |
|
密度 |
14.3 (gm/cm3) |
|
放射率 |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
硬度（HK） |
2000 |
|
抵抗 (オーム-cm) |
1×10-5 |
|
熱安定性 |
<2500℃ |
|
グラファイトの寸法変化 |
-10～-20um(参考値) |
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コーティングの厚さ |
≧20um代表値(35um±10um) |
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|
上記は代表的な値です |
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- View as
TaCコートシールリング
Semicorex TaC コーティングされたシール リングをシール コンポーネントに適用すると、半導体製造の厳しい環境において優れた性能上の利点が得られます。 TaC コーティングは、耐薬品性、極端な温度、機械的摩耗に関連する重要な課題に対処し、プロセス歩留まりの向上、装置の稼働時間の増加、そして最終的には製造コストの削減を可能にします。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能 TaC コーティング シール リングの製造と供給に専念しています。**
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炭化タンタルコーティングされたレシーバー
Semicorex タンタルカーバイドコーティングサセプタは、半導体ウェーハの作成に不可欠な成膜プロセスにおいて極めて重要な役割を果たす重要なコンポーネントです。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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超硬タンタルチャック
Semicorex タンタルカーバイド チャックは、半導体製造装置で使用される高度なコンポーネントであり、その優れた熱的特性と機械的特性で知られています。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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TaCコーティングリング
Semicorex TaC コーティング リングは、これらの厳しい要件を満たす重要なコンポーネントとして機能します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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TaCコーティングシャワーヘッド
Semicorex TaC コーティングされたシャワーヘッドは化学蒸着プロセスに不可欠であり、比類のないパフォーマンスと寿命を実現します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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TaCコーティングチャック
Semicorex TaC コーティングされたチャックは、半導体製造分野における大きな進歩を表します。 Semicorex は高品質の製品を競争力のある価格で提供することに尽力しており、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています*。
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Semicorex は TaCコーティング を長年生産しており、中国のプロの TaCコーティング メーカーおよびサプライヤーの 1 つです。バルク梱包を提供する高度で耐久性のある製品を購入すると、迅速な配達で大量の製品を保証します。長年にわたり、お客様にカスタマイズされたサービスを提供してきました。お客様は当社の製品と優れたサービスに満足しています。私たちはあなたの信頼できる長期的なビジネスパートナーになることを心から楽しみにしています!私たちの工場から製品を購入することを歓迎します。
