CVD TaC コーティング カバー

Semicorex CVD TaC コーティング カバーは優れた硬度を誇り、通常ビッカース スケールで 2500 ～ 3000 HV に達します。この並外れた硬度は、タンタルと炭素原子間の信じられないほど強力な共有結合に由来し、摩耗や機械的変形に対する緻密で侵入不可能な障壁を形成します。実際には、これは工具やコンポーネントがより長く切れ味を保ち、CVD TaC コーティング カバーの寸法精度を維持し、その寿命全体にわたって一貫した性能を発揮することを意味します。

グラファイトは、そのユニークな特性の組み合わせにより、幅広い用途に計り知れない可能性を秘めています。ただし、その固有の弱点により、使用が制限されることがよくあります。 CVD TaC コーティングは状況を一変させ、グラファイト基材と信じられないほど強力な結合を形成し、グラファイトの高い熱伝導率と電気伝導率、および CVD の並外れた硬度、耐摩耗性、化学的不活性という両方の長所を組み合わせた相乗効果のある材料を作成します。 TaCコーティングカバー。

エピタキシーリアクター内の急激な温度変動は材料に大損害を与え、亀裂、反り、致命的な故障を引き起こす可能性があります。しかし、CVD TaC コーティング カバーは優れた耐熱衝撃性を備えており、構造の完全性を損なうことなく急速な加熱と冷却のサイクルに耐えることができます。この弾力性は CVD TaC コーティング カバーの独自の微細構造に由来しており、重大な内部応力を発生させることなく急速な拡張と収縮を可能にします。

腐食性の酸から攻撃的な溶剤に至るまで、化学戦場は容赦のないものとなることがあります。しかし、CVD TaC コーティング カバーはしっかりと立っており、さまざまな化学物質や腐食剤に対して顕著な耐性を示します。この化学的不活性により、化学処理、石油およびガス探査、およびコンポーネントが日常的に過酷な化学環境にさらされるその他の産業での用途に理想的な選択肢となります。

微細断面への炭化タンタル (TaC) コーティング

エピタキシー装置におけるその他の主な用途:

サセプタとウェーハキャリア:これらのコンポーネントは、エピタキシャル成長中に基板を保持し、加熱します。サセプタとウェーハキャリア上の CVD TaC コーティングは、均一な熱分布を提供し、基板の汚染を防止し、高温や反応性ガスによって引き起こされる反りや劣化に対する耐性を強化します。

ガスインジェクターとノズル:これらのコンポーネントは、反応性ガスの正確な流れを基板表面に供給する役割を果たします。 CVD TaC コーティングは腐食や浸食に対する耐性を強化し、一貫したガス供給を保証し、結晶成長を妨げる可能性のある粒子汚染を防ぎます。

チャンバーライニングとヒートシールド:エピタキシーリアクターの内壁は、高熱、反応性ガス、および潜在的な堆積物の蓄積にさらされます。 CVD TaC コーティングはこれらの表面を保護し、寿命を延ばし、粒子の発生を最小限に抑え、洗浄手順を簡素化します。