超硬タンタルチャック

Semicorex タンタルカーバイドチャックは、優れた熱安定性を誇り、最大 3880°C の温度に耐えることができます。この特性により、炭化タンタル チャックは、化学蒸着 (CVD) や物理蒸着 (PVD) などのプロセスに不可欠な、極端な熱条件下でも構造の完全性と性能を維持できます。  ダイヤモンドに匹敵する硬度を持つタンタルカーバイドチャックは、優れた耐摩耗性を発揮します。この特性は、精度と耐久性が最優先される半導体製造において非常に重要です。高い硬度により磨耗が最小限に抑えられ、チャックの寿命が延び、メンテナンスコストが削減されます。炭化タンタルは、特に攻撃的な酸やアルカリが含まれる環境において、化学的腐食に対して非常に耐性があります。この耐性により、炭化タンタル チャックはさまざまな半導体プロセスで使用される腐食性物質の影響を受けず、長期間にわたってその性能と信頼性が維持されます。

炭化タンタル チャックは、半導体製造技術の重要な進歩を表しています。その比類のない熱安定性、硬度、耐食性、導電性により、幅広い半導体製造プロセスに不可欠なコンポーネントとなっています。 TaC チャックを導入することで、メーカーは生産ラインの高精度化、耐久性の向上、全体的な効率の向上を実現でき、最終的には半導体産業の発展に貢献します。